多光子聚合3D飞秒激光光刻机
产品描述
多光子聚合3D飞秒激光光刻机是一套基于多光子聚合(MPP)原理为制备微纳结构而设计的3D激光光刻系统。该系统可以有效配套市场上常见的光刻胶，实现纳米精度和分辨率的图形刻蚀以及各种三维立体结构加工。
系统功能
♦ 一体化解决方案
♦ 分辨率100nm—10μm
♦ 复杂3D物体
♦ 多种多样的聚合物
♦ 占地面积小
应用领域
♦ 纳米光子器件(3D光子晶体)
♦ 微流体
♦ 微光学元件(透镜，光纤头结构等等)
♦ 微观力学
♦ 微光机电系统(MOEMS)
♦ 生物医学
所有的加工过程都被集成到同一系统中：3D图形准备，激光直写，后期处理
3D模型设计
SCA激光微加工软件控制系统运行并可以准备简单地3D模型设计。另外，也可以使用设计软件（例如Autodesk AutoCAD）设计3D模型，然后导入到SCA中，SCA支持*.stl, *.dxf格式的3D模型设计文件。最后将模型文件导入到SCA软件中，准备进行3D激光刻蚀。
激光直写
激光直写过程是由飞秒激光光源辐射、精确3轴定位和扫描振镜合作操作执行3D聚合的过程。具体而言：先将待刻模型通过精密定位激光聚焦系统直接从CAD设计中导入到光刻胶中。聚合物的双光子或多光子吸收用于形成高质量表面的3D结构。小于100 nm的尺寸可自成图形，200nm到10μm尺寸则需要通过控制和重复刻蚀而形成微结构。纳米级分辨率和各式各样的基于这种技术的聚合物可以延伸各种各样的应用（微光学元件，支架，微流体，微光机电系统，功能表面等等）。在按照CAD设计塑造出3D构造后，使用有机溶剂将剩下的未固结的光刻胶冲洗掉，衬底上即可留下最新制备的微观结构。
后期处理
将制备出的模型按序浸没在数种不同的溶剂以去除塑形后剩余的液体聚合物。所有过程全自动运行，并且运行参数(浸没时间，温度，等等)可以按照要求进行设置。另外，针对特殊的微器件除上述处理外还可以用紫外灯或临界点烘干机进行固化处理。
